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江陰某半導體企業(yè)應用超純水設備項目

2023-01-13

  在集成電路、分立器件和其他半導體產(chǎn)品中,半導體材料是半導體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節的重要組成部分,起著(zhù)關(guān)鍵作用。目前全球的半導體產(chǎn)業(yè)鏈正向中國大陸轉移,中國晶圓廠(chǎng)擴產(chǎn)的步伐已逐漸加快。隨著(zhù)國內晶圓廠(chǎng)的投產(chǎn),對半導體材料的需求也將增加,市場(chǎng)的需求空間已被打開(kāi),因半導體元件集成度高,生產(chǎn)線(xiàn)狹窄,對水質(zhì)的要求特別高,超純水成為電子工業(yè)用水的“標配”。

超純水設備

  江陰某半導體企業(yè)應用超純水設備項目

  項目工藝

  自來(lái)水進(jìn)入原水箱,經(jīng)過(guò)原水泵增壓,經(jīng)過(guò)砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過(guò)濾器,到達反滲透單元,經(jīng)兩級反滲透過(guò)濾,進(jìn)入EDI單元,達到電阻率15MΩ·cm(25℃)進(jìn)入純水水箱。純水供水設計為循環(huán)方式,經(jīng)純水供水泵增壓,通過(guò)紫外線(xiàn)消毒器、拋光混床接入純水供水管,到達使用點(diǎn)。

  萊特萊德超純水設備設計原則

  1、根據進(jìn)、出水要求,選擇成熟可靠、高效節能、占地少、經(jīng)濟實(shí)用的處理工藝,保證處理效果,減少工程投資和日常費用。

  2、工藝流程簡(jiǎn)潔通暢,整體布置簡(jiǎn)潔、合理、美觀(guān)符合廠(chǎng)區的統一規劃,要求水處理設施布局與周?chē)h(huán)境協(xié)調,不對周?chē)h(huán)境造成二次污染。

  3、管道布局合理,充分利用現有設置和現有地形條件。整體施工期短、安裝方便、便于管理。安全措施得當,避免隱患。

  4、通過(guò)對各功能模塊進(jìn)行優(yōu)化組合,以確保整個(gè)系統的高性能和高品質(zhì),使產(chǎn)品水完全達到或優(yōu)于用水水質(zhì)標準。

  萊特萊德超純水設備中水箱均設有液位控制系統、水泵配有壓力保護裝置、在線(xiàn)水質(zhì)檢測控制儀表、電器采用PLC可編程序控制器,實(shí)際實(shí)現了無(wú)人操作,同時(shí)在工藝選材方面采用推薦和客戶(hù)要求相統一的方法,使設備同其他同類(lèi)產(chǎn)品相比,有較高的性?xún)r(jià)比。

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